De SO modellen (Small Objects of Kleine Voorwerpen) van de ATOS reeks zijn de beste keuze voor het precies meten van kleine voorwerpen. De SO systemen worden voornamelijk daar ingezet waar een zeer hoog detail en nauwkeurigheid word gevraagd op zeer complexe objecten. Met puntafstanden kleiner dan 0,02mm kunnen zeer kleine details worden gemeten.
 |  | | ATOS SO modellen | SO 4M / II SO / I SO |  | | | Meetpunten per scan (SO 4M) | 4 000 000 | | Meetvolumes (SO 4M) | 30 x 30 - 300 x 300 mm² | | Resolutie (SO 4M) | 0.015 - 0.15 mm |  |  | | Meetpunten per scan (II SO) | 1 400 000 | | Meetvolumes (II SO) | 30 x 24 - 250 x 200 mm² | | Resolutie (II SO) | 0.02 - 0.17 mm |  |  | | Meetpunten per scan (I SO) | 800 000 | | Meetvolumes (I SO) | 40 x 30 - 250 x 200 mm² | | Resolutie (I SO) | 0.04 - 0.25 mm |  |  |
|